[发明专利]一种新型的通孔链测试结构及其测试方法在审
| 申请号： | 201210261986.9 | 申请日： | 2012-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN103579192A | 公开（公告）日： | 2014-02-12 |
| 发明（设计）人： | 彭冰清 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544 |
| 代理公司： | 北京市磐华律师事务所 11336 | 代理人： | 董巍;高伟 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种新型的通孔链测试结构，包括：若干金属层形成的叠层，所述相邻金属层之间具有通孔；位于所述叠层上方的顶部金属层，所述顶部金属层与所述叠层之间通过通孔相连；其中，所述各金属层之间相互交错呈阶梯形设置，或所述通孔链呈蛇形弯曲设置，以实现所述叠层以及顶部金属层中金属层和通孔的同时检测。本发明所述通孔链可以更加准确的反应器件在后段制程中的性能；本发明所述复合型通孔链不再局限于单层通孔性能的检测，还能够实现多层通孔链的检测；本发明所述通孔链还可以根据需要灵活的选择不同层通孔实现不同的检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 通孔链 测试 结构 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种新型的通孔链测试结构，包括：若干金属层形成的叠层，所述相邻金属层之间具有通孔；位于所述叠层上方的顶部金属层，所述顶部金属层与所述叠层之间通过通孔相连；其中，所述各金属层之间相互交错呈阶梯形设置，或所述通孔链呈蛇形弯曲设置，以实现所述叠层以及顶部金属层中金属层和通孔的同时检测。
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