[发明专利]晶圆传送装置控制电路、晶圆传送装置以及光刻设备

摘要

本发明提供了一种晶圆传送装置控制电路、晶圆传送装置以及光刻设备。用于控制晶圆传送装置内的真空信号及其供给的晶圆传送装置控制电路包括：第一电阻器、第二电阻器、第三电阻器、第四电阻器、第五电阻器、第六电阻器、第一运算放大器以及第二运算放大器。所述晶圆传送装置控制电路还包括：可调电阻器，其中所述可调电阻器的两个固定端分别连接至所述第五电阻器的两端；并且其中，通过控制所述可调电阻器的阻值调节端来调节与所述第五电阻器并联的有效电阻值的大小。本发明提供了一种考虑了特殊的晶圆翘曲的情况并能防止由于在机械臂上产生低于机台设定的电压信号而产生晶圆传送真空错误的晶圆传送装置控制电路。

主权项

一种晶圆传送装置控制电路，用于控制晶圆传送装置内的真空信号及其供给，其特征在于所述晶圆传送装置控制电路包括：第一电阻器、第二电阻器、第三电阻器、第四电阻器、第五电阻器、第六电阻器、第一运算放大器以及第二运算放大器；其中，所述第一电阻器的一端连接至第一晶圆传送真空基准信号，所述第一电阻器的另一端连接所述第一运算放大器的反向输入端；所述第二电阻器的一端连接至所述第一运算放大器的反向输入端，所述第二电阻器的另一端连接至所述第一运算放大器的输出端；所述第三电阻器的一端连接至第二晶圆传送真空基准信号，所述第三电阻器的另一端连接所述第一运算放大器的正向输入端；所述第四电阻器的一端连接所述第一运算放大器正向输入端，所述第四电阻器的另一端接地；所述第一运算放大器的输出端连接至所述第二运算放大器的正向输入端；所述第二运算放大器的反向输入端连接至所述第二运算放大器的输出端；所述第二运算放大器的输出端还连接至所述第五电阻器的一端，所述第五电阻器的另一端连接至所述第六电阻器的一端；所述第六电阻器的另一端作为所述晶圆传送装置控制电路的输出端；并且所述晶圆传送装置控制电路还包括：可调电阻器，其中所述可调电阻器的两个固定端分别连接至所述第五电阻器的两端；并且其中，通过控制所述可调电阻器的阻值调节端来调节与所述第五电阻器并联的有效电阻值的大小。