[发明专利]具有门闩结构的前开式晶圆盒

摘要

本发明公开了一种具有门闩结构的前开式晶圆盒，在晶圆盒的门体内配置一对门闩结构，门闩结构利用圆形转盘带动滑动装置，使门闩结构能稳固的开锁及上锁，避免开锁及上锁时不必要的震动及碰撞，并利用滚轮的移动，防止尘埃的产生。

主权项

一种前开式晶圆盒，包括一盒体，该盒体的一侧面形成一开口供多个晶圆的输入及输出，该盒体开口处的一相对边缘各配置至少一对插孔，以及一门体，该门体的一相对边缘各配置至少一对与该对插孔相应的闩孔，该门体与该盒体的该开口相结合，并用于保护该盒体内部的该多个晶圆，其特征在于，该前开式晶圆盒还包括：一对门闩结构，配置于该门体，每一该门闩结构包括：一圆形转盘，具有一第一表面及一第二表面，在该第一表面上配置一转动部，在该第二表面的中央位置配置一制动部；至少一对牵动件，形成于该圆形转盘的边缘上的相对两端；及一对滑动装置，分别配置于该圆形转盘的边缘的相对两侧，每一该滑动装置具有靠近该圆形转盘的第一端以及与该第一端相对的第二端，并在该第一端形成一勾状嵌合部及一滑动部，以及在第二端形成至少一插入闩，且该插入闩与该门体的闩孔相对应，其中，该勾状嵌合部勾制住该牵动件，使该滑动装置嵌设于该圆形转盘上；通过该制动部控制该圆形转盘的转动，使得该滑动装置的该插入闩往返于该对插孔与该对闩孔中。