[发明专利]一种高纯度超薄石英陶瓷坩埚的制备方法

摘要

一种高纯度超薄石英陶瓷坩埚的制备方法，包括(1)优选水晶原石；(2)对水晶原石高温焙烧；(3)粉碎；(4)酸洗去除杂质；(5)进行化学浮选；(6)对水晶粉进行磁选；(7)检测水晶粉SiO2含量；(8)加入矿化剂；(9)加入适量的陶瓷泥浆；(10)将浆料混合，形成粘结剂；(11)将浆料放入模具中成型、固化；(12)将坩埚坯体脱模，干燥；(13)将干燥成型的石英陶瓷坩埚坯体烘干、固化；(14)将成型的石英陶瓷坩埚预热和烧制；(15)出炉；(16)将坩埚冷水中，检验破损状况；(17)检验并进行倒角处理；(18)将成品、包装；本发明的优点坩埚强度高、缩短熔炼铸锭时间。

主权项

一种高纯度超薄石英陶瓷坩埚的制备方法，其特征在于，包括：(1).优选水晶原石5‑15mm，纯度SiO2＞99.95％；(2).对水晶原石980℃高温焙烧；(3).粉碎至2500‑3000目；(4).对2500‑3000目的水晶粉用氢氟酸、硫酸浸洗24小时，去除杂质；(5).对去除杂质后的水晶粉分别进行7级化学浮选，用7种不同的化学方法置换水晶粉中的金属和非金属杂质；(6).用高磁机对水晶粉进行磁选，去除水晶粉在加工过程中附着在铁杂质；(7).检测水晶粉SiO2含量，纯度SiO2＞99.9995％；(8).在高纯度水晶粉中加入矿化剂氧化钙、氧化镁；(9).在高纯度水晶粉中加入适量的陶瓷泥浆；(10).对高纯度水晶粉形成的浆料混合后球磨，形成粘结剂；(11).将球磨后的浆料放入石墨模具中成型、固化石英陶瓷坩埚坯体；(12).将成型后的石英陶瓷坩埚坯体脱模，干燥；(13).将干燥成型的石英陶瓷坩埚坯体放入烘干箱，加热烘干，达到进一步固化成型；(14).将固化成型的石英陶瓷坩埚放入硅碳棒固化电炉内，进行逐渐预热和烧制20，并保温；(15).将烧制成型的石英陶瓷坩埚出炉；(16).将烧制成型的石英陶瓷坩埚放入0℃‑10℃的冷水中，检验破损状况；(17).将经过合格检验的石英陶瓷坩埚，用车床进行后期的底部车磨和倒角处理，达到底部厚度与整体坩埚厚度一致，公差尺寸＜±0.2mm；(18).石英陶瓷坩埚成品、包装。