[发明专利]一种透明导电薄膜及其制备方法无效
| 申请号： | 201210267043.7 | 申请日： | 2012-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN103572212A | 公开（公告）日： | 2014-02-12 |
| 发明（设计）人： | 周明杰;王平;陈吉星;冯小明 | 申请（专利权）人： | 海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/06 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 何平 |
| 地址： | 518100 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明属于半导体光电材料领域，其公开了透明导电薄膜极其制备方法；该导电薄膜包括作为缓冲和匹配作用的SnO2层，作为导电作用的Cu层，以及作为高功函作用的ReO3层；且SnO2层、Cu层和ReO3层形成SnO2-Cu-ReO3三文治结构。本发明提供的透明导电薄膜，为SnO2-Cu-ReO3三文治结构的三层阳极薄膜，第一层SnO2层有一定的导电性，并起着匹配层的作用，中间的Cu层起主要的导电作用，外层ReO3具有较高的表面功函数，与器件其他功能层的能级匹配；且该薄膜的方块电阻低至8Ω/囗，可见光透过率达92%，表面功函数6.1eV。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 透明 导电 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种透明导电薄膜，其特征在于，该导电薄膜包括作为缓冲和匹配作用的SnO2层，作为导电作用的Cu层，以及作为高功函作用的ReO3层；且SnO2层、Cu层和ReO3层形成SnO2‑Cu‑ReO3三文治结构；SnO2层、Cu层和ReO3层的厚度分别为30~100nm、5~50nm和0.5~5nm。
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