[发明专利]太阳能电池扩散退火工艺

摘要

本发明涉及一种太阳能电池扩散退火工艺，包括前氧化、衡温预淀积、主扩散变温推进、降温、退火、退舟等步骤。本发明以衡温退火来修复晶格，减少高温扩散带来的热缺陷，降低漏电，提升Uoc、Isc，同时该退火工艺能起到二次推进的作用，更进一步降低“死层”、激活磷原子，提高载流子(电子—空穴对)密度,最终提升电池转换效率2%-3%以上。

主权项

一种太阳能电池扩散退火工艺，其特征在于包括以下步骤：1）把制绒好的硅片放进扩散炉管中，将温度升到750‑810℃，升温时间600‑700s，同时通入氧气10000‑15000sccm；2）维持750‑810℃温度不变，维持时间600‑1200s，同时通入氮气5000‑10000sccm；3）前氧化，时间120‑500s，通入的氧气量为200‑600sccm，氮气量为5000‑10000sccm；4）衡温预淀积，温度在750‑810℃，通入氮气5000‑10000sccm，携源氮气800‑1400sccm，氧气200‑600sccm，时间720‑1200s；5）主扩散，变温推进，温度从750‑810℃范围以一定升温速率上升到810‑870℃范围，氮气5000‑10000sccm，氧气2000‑2900sccm，时间360‑600s；6）降温，通入的氮气量为15000‑25000sccm，使得炉内温度以一定降温速率降到750‑810℃范围，时间720‑1200s；7）退火，维持750‑800℃范围600‑1200s，氮气15000‑25000sccm；8）退舟，氮气10000‑25000sccm，时间300‑600s。