[发明专利]用于传送基片的机器人、利用该机器人的多腔室基片处理设备、及用于该设备的控制方法在审

专利信息
申请号: 201210270395.8 申请日: 2012-07-31
公开(公告)号: CN103377973A 公开(公告)日: 2013-10-30
发明(设计)人: 柳锺贤;洪思仁;曹周铉;徐炯权;崔珉镐 申请(专利权)人: 塔工程有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/67
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 武树辰;王婧
地址: 韩国庆尚*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要: 本文公开了一种用于有效地传送基片的基片传送机器人、一种利用该基片传送机器人的多腔室基片处理设备、以及一种用于控制该设备的方法。该基片传送机器认包括基片保持器、使得该基片保持器能够进行三维运动的多个机械臂、以及设置在多个机械臂的任何一个上的装载吸盘,该装载吸盘从基片上方的位置吸附或保持基片。
搜索关键词: 用于 传送 机器人 利用 多腔室基片 处理 设备 控制 方法
【主权项】:
一种基片传送机器人,包括:基片保持器;多个机械臂,所述多个机械臂使所述基片保持器能够进行三维运动;以及装载吸盘,所述装载吸盘设置在所述多个机械臂中的任何一个上,所述装载吸盘从所述基片上方的位置吸附或保持所述基片。
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