[发明专利]一种柔性OLED及其制备方法

摘要

本发明公开一种柔性OLED制备方法，包括：1)将PET薄片作为基板通过粘结剂固定在一支撑板上，而后对基板表面进行清洗并烘干，再在基板上形成一阻挡层，所述阻挡层由聚合物薄膜层与高光透过率的无机材料薄膜层依次交替沉积而成，所述聚合物薄膜层与无机材料薄膜层的折射率与基板折射率相当；2)在设置了阻挡层的基板上制作ITO和金属层并完成金属线路和ITO线路刻蚀、PI图案制作、RIB图案制作，在金属线路和ITO线路刻蚀时，对刻蚀液进行机械搅拌或超声搅拌；3)而后送入蒸镀腔中蒸镀有机功能层和阴极；4)在阴极表面采用真空蒸镀的方式制备薄膜封装层，所述封装层由至少一层有机材料层及至少一层无机材料层交替沉积而成；5)将基板与支撑板剥离。

主权项

一种柔性OLED制备方法，其特征在于，包括如下步骤：1)将PET薄片作为基板通过粘结剂固定在一支撑板上，而后对基板表面进行清洗并烘干，再在基板上形成一阻挡层，所述阻挡层由聚合物薄膜层与高光透过率的无机材料薄膜层依次交替沉积而成，所述聚合物薄膜层及无机材料薄膜层的折射率与基板相当；2)在设置了阻挡层的基板上制作ITO和金属层并完成金属线路和ITO线路刻蚀、PI图案制作、RIB图案制作，在金属线路和ITO线路刻蚀时，对刻蚀液进行机械搅拌或超声搅拌；3)而后送入蒸镀腔中蒸镀有机功能层和阴极；4)在阴极表面采用真空蒸镀的方式蒸镀薄膜封装层，薄膜封装层由至少一层有机材料层及至少一层无机材料层交替沉积而成；5)将基板与支撑板剥离。