[发明专利]用于清洁反应室的设备在审

专利信息
申请号: 201210271304.2 申请日: 2012-07-31
公开(公告)号: CN103374711A 公开(公告)日: 2013-10-30
发明(设计)人: 柳锺贤;洪思仁;崔珉镐 申请(专利权)人: 塔工程有限公司
主分类号: C23C16/44 分类号: C23C16/44
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 武树辰;王婧
地址: 韩国庆尚*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要: 本文公开的是一种用于清洁反应室的设备,该设备可有效地去除已附着于反应室的物质,并且该设备可防止反应室在清洁反应室的过程期间受到污染。该设备包括:清洁单元,该清洁单元具有刷,该刷插入到反应室中以清洁反应室的内部;以及遮挡单元,该遮挡单元阻挡在利用刷来清洁反应室的内部的过程期间掉落的物质。
搜索关键词: 用于 清洁 反应 设备
【主权项】:
一种用于清洁反应室的设备,包括:清洁单元,所述清洁单元包括刷,所述刷插入到所述反应室中以执行清洁所述反应室的内部的过程;以及遮挡单元,所述遮挡单元用于阻挡在利用所述刷来清洁所述反应室的内部的过程期间掉落下的物质。
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