[发明专利]气压式测试装置及其应用的测试设备

摘要

一种气压式测试装置及其应用的测试设备，该测试装置设有可配置于机台上的承座，并于承座上装配有测试机构、至少一承载具及气压产生机构；该测试机构设于承载具的下方，并设有至少一探针组及测试电路板，用以测试电子元件，该至少一承载具于上方承载电子元件，并于承载具或测试机构作轴向位移时，可使测试机构的探针组电性接触电子元件，该气压产生机构则于承载具上方设有至少一压力罩及气压供应组，以通入适当的气压下压电子元件，而以非接触式的气压压抵方式，使电子元件保持电性接触测试机构的探针组以执行测试作业，达到防止电子元件受损及提升测试品质的实用效益。

主权项

一种气压式测试装置，其特征在于，包括有：承座；至少一承载具，架置于承座上，用以承载电子元件；测试机构，设有至少一测试电路板及探针组，该探针组电性接触测试电子元件；气压产生机构，设有至少一压力罩及气压供应组，该压力罩罩覆于承载具的上方位置，气压供应组连接至一气压源并输入气体于压力罩内，而以非接触式的气压压抵方式下压电路板。