[发明专利]一种安装晶圆托架的专用工具及其安装方法

摘要

一种安装晶圆托架专用工具及其安装方法，属于半导体薄膜沉积设备技术领域。主要解决现有的托架上晶圆交换的位置不能准确定位及效率低的技术问题。安装晶圆托架的专用工具，包括晶圆托架安装架，晶圆托架安装架的上面设有安装架把手，安装架把手是通过螺栓将其固定在晶圆托架安装架上的。上述晶圆托架安装架的中心设有定位销，螺栓与晶圆托架安装架螺纹联接。安装方法，先将定位销穿过晶圆安装盘定位保证同心，并固定晶圆安装盘和托架安装架。将托架安装架放入到真空装载腔的圆形凹槽之中，对准定位之后固定，最后将螺栓拧下来，将托架安装架取下来。使用这种工装安装的晶圆托架既省力方便又可以精确定位晶圆的位置。

主权项

一种安装晶圆托架的专用工具，包括晶圆托架安装架（3），其特征在于：晶圆托架安装架（3）的上面设有安装架把手（1），安装架把手（1）是通过螺栓（5）将其固定在晶圆托架安装架（3）上的，上述晶圆托架安装架（3）的中心设有定位销（4），螺栓（2）与晶圆托架安装架（3）螺纹联接。