[发明专利]表面处理化学铜制程清洗液中铜的循环利用方法

摘要

一种表面处理化学铜制程清洗液中铜的循环利用方法，包括如下步骤：利用清洗液储存槽储存清洗液，并利用碳纤维过滤器过滤清洗液的微小颗粒并吸附氯；利用臭氧氧化器产生臭氧以氧化有机物，并回送至清洗液储存槽；利用高压帮浦抽取并加压清洗液储存槽中的清洗液以形成高压处理液；利用逆渗透模块接收高压处理液，且该逆渗透模块包含逆渗透膜，用以进行逆渗透处理，产生渗透过逆渗透膜的渗透液以及未渗透的浓缩液，且浓缩液至少包含高浓度的硫酸铜；以及将浓缩液输送出去，可当作镀液中铜的额外来源，具体实现回收清洗液中的化学铜，达到零排放及零污泥的目标。

主权项

一种表面处理化学铜制程清洗液中铜的循环利用方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：利用一清洗液储存槽接收来自一清洗槽的清洗槽清洗液以形成一储存槽清洗液，且该清洗槽是用以清洗表面处理制程中的一待清洗对象，该储存槽清洗液包含化学铜的硫酸铜，并至少包含微小颗粒，氯、有机物、罗氏盐(Rochelle salt)、螯合剂铜错合物及螯合剂中的任意一种，且利用一碳纤维过滤器以过滤储存槽清洗液中的微小颗粒，并吸附储存槽清洗液中的氯，藉以产生一过滤处理液，所述碳纤维过滤器包含碳纤维；利用一臭氧氧化器产生臭氧，用以氧化并去除该过滤处理液中的有机物，进而形成一臭氧处理液，且将臭氧处理液回送至清洗液储存槽；利用一高压泵以抽取及加压清洗液储存槽中的清洗槽清洗液而形成一高压处理液，并传送至一逆渗透模块； 利用逆渗透模块接收高压处理液，且逆渗透模块包含逆渗透膜，用以对高压处理液进行逆渗透处理，进而产生渗透过该逆渗透膜的一渗透液以及未渗透过逆渗透膜的一浓缩液，其中浓缩液保留该高压处理液中的大分子物质以及高浓度的硫酸铜及含铜罗氏盐(Rochelle salt)，而该渗透液包含低浓度的硫酸铜及含铜罗氏盐，但不包含该大分子物质，该大分子物质包括螯合剂铜错合物、螯合剂；以及将该浓缩液输送至一镀槽，用以当作镀液的额外铜来源，或输送至一调配槽，藉以调配具较佳组成的镀液，供后续表面处理制程所需，或输送至一储存槽，用以暂时储存。