[发明专利]一种多层膜系统光能分布测量方法无效
| 申请号： | 201210274398.9 | 申请日： | 2012-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN102830068A | 公开（公告）日： | 2012-12-19 |
| 发明（设计）人： | 张晓勇;毛启楠;王东;于平荣 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | G01N21/17 | 分类号： | G01N21/17 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 杨天娇 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多层膜系统光能分布测量方法，采用光谱椭偏仪和台阶仪分别测量基底及各层膜的折射率、消光系数以及各层膜的厚度，然后构建虚拟的多层膜系统，分别通过等效界面方法计算各个界面上、下的光能分布情况，从而通过比较各个界面和各层膜上、下的光能分布情况，就能得到各界面和各层膜对光能分布的影响。本发明测量方法简单方便，测量结果稳定可靠，适用范围广泛。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多层 系统 光能 分布 测量方法 | ||
【主权项】：
一种多层膜系统光能分布测量方法，用于测量多层膜系统中各界面及各层膜对光能分布的影响，其特征在于，所述方法包括步骤：(1)分别测量入射介质、各层膜及基底的光学常数和薄膜厚度；(2)对每一界面，测量入射光无限接近该界面时的反射率、透射率和吸收率；(3)对每一界面，测量入射光刚刚跨过该界面时的反射率、透射率和吸收率；(4)按照从顶膜表面到膜基界面的顺序排列获得的光能分布信息，比较相邻两个测量结果，得到各界面及各层膜对光能分布的影响结果。
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