[发明专利]用于在薄膜气相沉积装置中计量粒状源材料的装置有效
| 申请号： | 201210274402.1 | 申请日： | 2012-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN102912299A | 公开（公告）日： | 2013-02-06 |
| 发明（设计）人： | E.J.利特尔 | 申请（专利权）人： | 初星太阳能公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54;C23C14/06;H01L31/18 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 肖日松;谭祐祥 |
| 地址： | 美国科*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及用于在薄膜气相沉积装置中计量粒状源材料的装置。具体而言，一种计量机构被配置成用于将测定剂量的粒状材料从第一位置移送到第二位置，并且特别适合于在气相沉积装置中计量源材料。接收器布置成从第一位置接收粒状材料。排出端口从该接收器的出口轴向地偏移。由可控驱动装置使具有贯通其限定的通路的往复式递送部件在该通路与接收器出口对准的负载位置和该通路与排出端口对准的排出位置之间沿往复路径移动。从第一位置移送到第二位置的粒状材料的量是通路的体积和递送部件的往复速率的函数。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 薄膜 沉积 装置 计量 粒状 材料 | ||
【主权项】：
一种计量机构(200)，配置成用于将测定剂量的粒状材料从第一位置移送到第二位置，所述计量机构(200)包括： 接收器(208)，其布置成从所述第一位置接收粒状材料，所述接收器具有出口(212)； 排出端口(214)，其从所述接收器出口轴向地偏移； 往复式递送部件(216)，其具有贯通其限定的通路；以及 可控驱动装置(222)，其配置成使所述递送部件在负载位置和排出位置之间沿往复路径移动，在所述负载位置，所述通路与所述接收器出口对准，在所述排出位置，所述通路与所述排出端口对准； 其中，从所述第一位置移送到所述第二位置的粒状材料的量是所述通路的体积和所述递送部件的往复速率的函数。
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