[发明专利]一种涂布喷嘴清洗装置无效
申请号: | 201210275841.4 | 申请日: | 2012-08-03 |
公开(公告)号: | CN102962229A | 公开(公告)日: | 2013-03-13 |
发明(设计)人: | 焦宇 | 申请(专利权)人: | 北京京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | B08B7/00 | 分类号: | B08B7/00;B05C21/00 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 黄志华 |
地址: | 100176 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种涂布喷嘴清洗装置,包括:机架和滚轴;所述滚轴的两端分别枢装于所述机架的安装座上,且所述滚轴在两所述安装座之间的长度大于所述涂布喷嘴喙部的长度,且所述滚轴的直径大于所述涂布喷嘴喙部底端面的宽度;所述滚轴的一端设置有驱动装置。在驱动装置的驱动下,滚轴旋转,且滚轴的表面与涂布喷嘴喙部配合,通过滚轴表面的摩擦力以及吸附力等将涂布喷嘴喙部底端面的变质感光材料去除,进而提高基板产品涂布感光材料的均匀性,降低对基板后工序加工的影响。 | ||
搜索关键词: | 一种 喷嘴 清洗 装置 | ||
【主权项】:
一种涂布喷嘴清洗装置,其特征在于,包括:机架和滚轴;所述滚轴的两端分别枢装于所述机架的安装座上,且所述滚轴在两所述安装座之间的长度大于所述涂布喷嘴喙部的长度,且所述滚轴的直径大于所述涂布喷嘴喙部底端面的宽度;所述滚轴的一端设置有驱动装置。
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