[发明专利]一种氧化铝薄膜及制备方法及其应用

摘要

本发明公开了一种涉及薄膜晶体管领域的氧化铝薄膜的制备方法，包括以下步骤：制备铝前驱体溶液，将含有铝金属离子的前驱体材料和稳定剂溶解于溶液中，充分搅拌使其充分溶解，得到前驱体溶液；制备氧化铝薄膜，将制备的反应溶液在涂布面上涂布成膜，经热处理程序得到氧化铝薄膜。本发明还涉及该制备方法制备的氧化铝薄膜，该氧化铝薄膜在晶体管中的应用，包含该氧化铝薄膜的薄膜晶体管以及该薄膜晶体管的制备方法。本发明的氧化铝薄膜的制备方法通过添加适量的用于稳定氧化铝前驱体材料的稳定剂，使铝的前驱体材料通过配位溶解反应形成金属有机配合物，该配合物可以较好的溶解于溶液中，且具有较低的热分解温度，降低了制备过程中的热处理温度。

主权项

一种氧化铝薄膜的制备方法，包括以下步骤：（1）制备铝前驱体溶液将含有铝金属离子的前驱体材料和稳定剂溶解于溶剂中，充分搅拌使其充分溶解，得到前驱体溶液；（2）制备氧化铝薄膜将步骤（1）制备的反应溶液在涂布面上涂布成膜，经热处理程序得到氧化铝薄膜。