[发明专利]防止液体回溅装置无效
| 申请号： | 201210283204.1 | 申请日： | 2012-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN102825051A | 公开（公告）日： | 2012-12-19 |
| 发明（设计）人： | 刘伟;吴仪 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B13/00 | 分类号： | B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 韩国胜 |
| 地址： | 100015 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种防止液体回溅装置，包括用于放置物体的卡盘、与所述卡盘固定连接用于旋转所述卡盘的旋转轴以及环设于所述卡盘周围的侧壁，所述卡盘的旋转用于甩干所述物体上的液体，所述侧壁用于防止从所述物体上甩开的液体飞溅至所述侧壁之外，其中，所述侧壁的内侧设置有一层有机薄膜，通过该有机薄膜增加液体的抗变形能力，从而防止从物体上甩开的液体由侧壁回溅至物体上，克服了对物体的二次污染。 | ||
| 搜索关键词： | 防止 液体 装置 | ||
【主权项】：
一种防止液体回溅装置，包括用于放置物体的卡盘、与所述卡盘固定连接用于旋转所述卡盘的旋转轴以及环设于所述卡盘周围的侧壁，所述卡盘的旋转用于甩干所述物体上的液体，所述侧壁用于防止从所述物体上甩开的液体飞溅至所述侧壁之外，其特征在于，所述侧壁的内侧设置有一层用于防止液体回溅的有机薄膜。
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