[发明专利]具有双分划板边部掩蔽组件的光刻装置及其使用方法有效
| 申请号： | 201210283212.6 | 申请日： | 2012-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN103383525A | 公开（公告）日： | 2013-11-06 |
| 发明（设计）人： | 吴东立;林进祥;刘恒信;彭瑞君 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人： | 章社杲;孙征 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种光刻装置包括至少两个分划板边部掩蔽组件(REMA)。光刻装置进一步包括被配置为发射出具有一波长的光束的光源，以及被配置为将该光束分成多条准直光束的光束分离元件。每个REMA被设置为接收多条准直光束中的一条，并且每个REMA都具有用于使一条准直光束穿过的可移动狭缝。光刻装置进一步包括至少一个具有图案的掩模，其中所述至少一个掩模被配置为接收来自至少一个REMA的光；以及投影透镜，被配置为接收来自至少一个掩模的光。本发明还讨论了一种使用光刻装置的方法。进一步地，本发明还公开了具有双分划板边部掩蔽组件的光刻装置及其使用方法。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 双分划板边部 掩蔽 组件 光刻 装置 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
一种光刻装置，包括：光束分离元件，被设置为将从光源发射出的光束分成多条准直光束；至少两个分划板边部掩蔽组件(REMA)，其中每个REMA都被设置成接收所述多条准直光束中的一条，并且每个REMA都包括用于使这一条准直光束穿过的可移动狭缝；至少一个掩模，所述掩模具有图案，其中，所述至少一个掩模被设置为接收来自至少一个REMA的光；以及投影透镜，被设置为接收由所述至少一个掩模传送的光。
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