[发明专利]蓝宝石单晶制造用冷却装置无效
| 申请号： | 201210283836.8 | 申请日： | 2012-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN103147126A | 公开（公告）日： | 2013-06-12 |
| 发明（设计）人： | 朴钟仁;金贤哲;李钟赞 | 申请（专利权）人： | BIEMT株式会社;BIAM株式会社 |
| 主分类号： | C30B29/20 | 分类号： | C30B29/20;C30B35/00 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 竺路玲 |
| 地址： | 韩国忠清南道牙*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及蓝宝石单晶制造用冷却装置。本发明的蓝宝石单晶制造用冷却装置，其包括形成有位于内部底面固定有籽晶结晶的坩埚下部、向固定有籽晶结晶的部位供应冷媒的供应管，把冷却坩埚下部的冷媒排出的冷媒排出管的冷媒循环部；由连接冷媒供应管的入口和冷媒排出管出口的内部管，环抱所述内部管、内部有冷媒循环的外部管形成双重管结构的第1冷却部；内部形成有装放所述第1冷却部的冷却槽，填充有冷却水的第2冷却部。 | ||
| 搜索关键词： | 蓝宝石 制造 冷却 装置 | ||
【主权项】：
一种蓝宝石单晶制造用冷却装置，其特征在于：包括形成有位于内部底面固定有籽晶结晶的坩埚下部、向固定有籽晶结晶的部位供应冷媒的供应管，把冷却坩埚下部的冷媒排出的冷媒排出管的冷媒循环部；由连接冷媒供应管的入口和冷媒排出管出口的内部管，环抱所述 内部管、内部有冷媒循环的外部管形成双重管结构的第1冷却部；内部形成有装放所述第1冷却部的冷却槽，填充有冷却水的第2冷却部。
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