[发明专利]一种高性能钽靶材的制备方法无效
| 申请号： | 201210292279.6 | 申请日： | 2012-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN103028898A | 公开（公告）日： | 2013-04-10 |
| 发明（设计）人： | 李桂鹏;张春恒;李兆博;汪凯;同磊;陈文明 | 申请（专利权）人： | 宁夏东方钽业股份有限公司 |
| 主分类号： | B23P15/00 | 分类号： | B23P15/00;B21J5/00;B21B37/00 |
| 代理公司： | 宁夏专利服务中心 64100 | 代理人： | 徐淑芬 |
| 地址： | 753000 宁夏*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高性能钽靶材的制备方法，其特征是：首先将钽锭采用冷锻结合热锻的方法制成锻造坯料，然后再采用热轧法进行轧制，最后校平，再根据成品尺寸下料、铣削和表面处理得到钽靶材。本发明采用冷锻结合热锻工艺对钽锭进行锻造，然后再采用热轧工艺对锻造坯料进行轧制，从而得到满足高端溅射基台使用要求的高性能钽靶材。该高性能钽靶材：第一，结晶均匀，晶粒尺寸在50－120μm之间；第二，在靶材厚度方向获得（100）织构占优的织构组分（所占比例在50%以上），并且在厚度方向均匀一致。与普通钽靶材相比较，高性能钽靶材不但实现了靶材厚度方向（100）织构达到50％以上的织构组分，而且对织构均匀性也提出更高的要求，从而确保了在使用中溅射速率一致。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 性能 钽靶材 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种高性能钽靶材的制备方法，其特征是：首先将钽锭采用冷锻结合热锻的方法制成锻造坯料，然后再采用热轧法进行轧制，最后校平，根据成品尺寸下料、切削和表面处理得到钽靶材。
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