[发明专利]电子部件用层叠布线膜以及覆盖层形成用溅射靶材

摘要

本发明提供一种使用了如下由Mo合金构成的覆盖层的电子部件用层叠布线膜以及用于形成覆盖层的溅射靶材，其中，所述覆盖层改善耐湿性、耐氧化性，进而在与低电阻的主导电层Al进行层叠时，即使经过加热工序也能维持低电阻值。所述电子部件用层叠布线膜是在基板上形成金属膜的电子部件用层叠布线膜，由以Al为主成分的主导电层和覆盖该主导电层的一面和/或另一面的覆盖层构成，该覆盖层为，原子比的组成式由Mo100-x-y-Nix-Tiy，10≤x≤30、3≤y≤20所表示，余量由不可避免的杂质构成。

主权项

一种电子部件用层叠布线膜，其特征在于，是在基板上形成金属膜的电子部件用层叠布线膜，由以Al为主成分的主导电层和覆盖该主导电层的一面和/或另一面的覆盖层构成，该覆盖层为，原子比的组成式由Mo100‑x‑y‑Nix‑Tiy，10≤x≤30、3≤y≤20所表示，余量由不可避免的杂质构成。