[发明专利]一种钼合金管靶的生产方法

摘要

本发明涉及一种钼合金管靶的生产方法，其通过将预合金粉末置于专用包套中，在真空条件下进行热等静压形成管靶，专用包套包括同轴设置的不锈钢内管和低碳钢外管以及用于固定不锈钢内管和低碳钢外管的两端的固定座，不锈钢内管为适合作为钼合金管靶的衬管的无磁性或弱磁性不锈钢管，低碳钢外管的壁厚小于不锈钢内管的壁厚，且低碳钢外管的内径与不锈钢内管的外径的差值为靶管的厚度的2.1~2.3倍，低碳钢外管上预焊有抽气管，热等静压的温度为1000℃~1200℃，压力大于等于100MPa。本发明所得钼合金管靶成分均匀、无可见偏析，钯管与衬管之间结合紧密，晶粒细小、纯度高，能够满足液晶显示和触控屏行业要求。

主权项

一种钼合金管靶的生产方法，所述钼合金管靶具有衬管和靶管，其特征在于：所述生产方法通过将由钼和合金元素组成的预合金粉末置于专用包套中，在真空条件下进行热等静压形成管靶，所述专用包套包括同轴设置的不锈钢内管和低碳钢外管以及用于固定所述不锈钢内管和低碳钢外管的两端的固定座，其中：所述不锈钢内管为适合作为钼合金管靶的衬管的无磁性或弱磁性不锈钢管，所述低碳钢外管的壁厚小于所述不锈钢内管的壁厚，且低碳钢外管的内径与不锈钢内管的外径的差值为所述靶管的厚度的2.1~2.3倍，所述低碳钢外管上预焊有抽气管，所述热等静压的温度为1000℃~1200℃，压力大于等于100MPa，在热等静压结束后，除去专用包套的低碳钢外管和固定座，得到内为衬管外为靶管的坯材，该坯材经机加工即得所述钼合金管靶。