[发明专利]半导体封装构造及其制造方法有效
申请号: | 201210294468.7 | 申请日: | 2012-08-17 |
公开(公告)号: | CN102867759A | 公开(公告)日: | 2013-01-09 |
发明(设计)人: | 王盟仁 | 申请(专利权)人: | 日月光半导体制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60;H01L21/56 |
代理公司: | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人: | 翟羽 |
地址: | 中国台湾高雄*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开一种半导体封装构造及其制造方法,所述制造方法是先提供一薄型重布线转接层,其设于一半导体基材层上;再通过一粘着层将所述薄型重布线转接层固定在一临时性承载板上;接着,移除所述半导体基材层;并对所述薄型重布线转接层的上表面进行钻孔;随后,将一芯片电性连接在所述薄型重布线转接层上;然后,利用一封装胶体包覆所述芯片;再移除所述粘着层及临时性承载板;最后,将所述薄型重布线转接层电性连接至一电路基板上。所述薄型重布线转接层不具有硅基材,同时也不需进行穿硅导通孔工艺,可以取代现有硅间隔层,不但有利于封装构造的薄型化趋势,并可相对降低封装成本。 | ||
搜索关键词: | 半导体 封装 构造 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种半导体封装构造的制造方法,其特征在于:所述制造方法包含步骤:提供一薄型重布线转接层,所述薄型重布线转接层设于一半导体基材层上,所述薄型重布线转接层的内部具有至少一电路层,及所述薄型重布线转接层的一下表面具有数个转接凸块;通过一粘着层将所述薄型重布线转接层的下表面固定在一临时性承载板上;移除所述半导体基材层,以裸露所述薄型重布线转接层的一上表面;对所述薄型重布线转接层的上表面进行钻孔以形成数个通孔,所述通孔分别露出所述电路层的数个部分;将一芯片电性连接在所述薄型重布线转接层的所述电路层的所述数个露出部分;利用一封装胶体包覆所述芯片;以及移除所述粘着层及临时性承载板,以裸露所述薄型重布线转接层的下表面的转接凸块。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于日月光半导体制造股份有限公司,未经日月光半导体制造股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201210294468.7/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造