[发明专利]多环并联式电容位移传感器

摘要

本发明公开一种多环并联式电容位移传感器,包括有动极和定极，该定极包括有同轴且由内而外设置的单面定极轴、双面圆环定极板、单面圆环定极板；该动极包括有对应定极设置且同轴的第一双面圆环动极板和第二双面圆环动极板；动极随被测物件相对定极沿轴向移动时，能够形成四组以上的环状并联电容，如此，被测量的移动件带动动极沿轴向移动时，各组电容的两极板间的有效覆盖面积均产生形态相同的变化，各组差动变化量累加，在体积不变的前提下，很大程度上增大了微动时动极与定极间面积的总变化量，增大了微动时电容总变化量，从而大大提高了微距测量时的精度及灵敏度，其更能满足微型化应用场合的需求。

主权项

一种多环并联式电容位移传感器，包括有相互配合的动极和定极，其特征在于：该定极包括有同轴且由内而外间距设置的单面定极轴、双面圆环定极板、单面圆环定极板；该动极包括有对应定极设置且同轴的第一双面圆环动极板和第二双面圆环动极板，该第一双面圆环动极板内形成有第一容置空腔，该第一双面圆环动极板与第二双面圆环动极板之间形成有第二容置空腔；该动极可轴向活动式嵌套于定极内，前述单面定极轴配合于第一容置空腔内并与第一双面圆环动极板内壁面构成第一电容；前述双面圆环定极板配合于第二容置空腔内并其内、外壁面分别与第一双面圆环动极板的外壁面、第二双面圆环动极板的内壁面构成第二、三电容；前述单面圆环定极板配合于第二双面圆环动极板外围，并单面圆环定极板与第二双面圆环动极板的外壁面构成第四电容。