[发明专利]具有热防护件的化学气相沉积装置有效
| 申请号： | 201210295798.8 | 申请日： | 2012-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN103374712A | 公开（公告）日： | 2013-10-30 |
| 发明（设计）人： | 柳锺贤;洪思仁;崔珉镐 | 申请（专利权）人： | 塔工程有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44;C23C16/46 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 武树辰;王婧 |
| 地址： | 韩国庆尚*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本文公开了一种化学气相沉积装置，该化学气相沉积装置具有热防护件以保护化学气相沉积装置的基座的下方的元件。该化学气相沉积装置具有反应室和由基座支承轴支承在该反应室中的基座。该化学气相沉积装置包括热防护件，该热防护件用于阻隔从基座的下方的一部分或从基座支承轴辐射的辐射热。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 防护 化学 沉积 装置 | ||
【主权项】：
一种化学气相沉积装置，所述化学气相沉积装置具有反应室和基座，所述基座由基座支承轴支承在所述反应室中，所述化学气相沉积装置包括：热防护件，所述热防护件用于阻隔从所述基座的下方的一部分或从所述基座支承轴辐射的辐射热。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
