[发明专利]一种氧化镁蒸镀装置支撑载具无效
申请号: | 201210296624.3 | 申请日: | 2012-08-20 |
公开(公告)号: | CN102789934A | 公开(公告)日: | 2012-11-21 |
发明(设计)人: | 张超;周志峰;周兴磊;尹海斌 | 申请(专利权)人: | 安徽鑫昊等离子显示器件有限公司 |
主分类号: | H01J9/20 | 分类号: | H01J9/20;C23C16/46 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 王宝筠 |
地址: | 230012*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明公开了一种氧化镁蒸镀装置支撑载具,包括:矩形主边框,所述矩形主边框上连接有多个主支撑块;多个与所述主边框的横向子边框平行的第一导轨,所述第一导轨的两端分别与所述主边框的两个纵向子边框连接;多个与所述主边框的纵向子边框平行的第二导轨,所述第二导轨的两端分别与所述主边框的两个横向子边框连接。其中,所述第一导轨与第二导轨上连接有多个可滑动的辅助支撑块,所述辅助支撑块的上表面与所述主支撑块的上表面位于同一平面。本申请通过所述辅助支撑块与主支撑块共同承载被蒸镀基板,所述辅助支撑块可以滑动,在进行基板蒸镀时,通过调节所述辅助支撑块即可适用不同尺寸的基板蒸镀,无需更换蒸镀装置支撑载具,提高了生产效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 氧化镁 装置 支撑 | ||
【主权项】:
一种氧化镁蒸镀装置支撑载具,其特征在于,包括:矩形主边框,所述矩形主边框上连接有多个主支撑块;多个与所述主边框的横向子边框平行的第一导轨,所述第一导轨的两端分别与所述主边框的两个纵向子边框连接;多个与所述主边框的纵向子边框平行的第二导轨,所述第二导轨的两端分别与所述主边框的两个横向子边框连接;其中,所述第一导轨与第二导轨上均连接有多个可滑动的辅助支撑块,所述辅助支撑块的上表面与所述主支撑块的上表面位于同一平面。
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