[发明专利]一种硼（B）扩散掺杂的方法有效
| 申请号： | 201210301219.6 | 申请日： | 2012-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN102797040A | 公开（公告）日： | 2012-11-28 |
| 发明（设计）人： | 汤叶华;周春兰;王文静;费建明;曹红彬 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电工研究所 |
| 主分类号： | C30B31/06 | 分类号： | C30B31/06 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 关玲 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种硼（B）扩散掺杂的方法，其步骤如下：（1）腐蚀清洗待掺杂的衬底表面，清洗完成后将衬底干燥；（2）扩散炉升温，同时向扩散石英管内导入大氮；当温度达到850-1050°C后，将步骤（1）制备好的清洁衬底放入扩散石英管恒温区，密封扩散炉炉口；待扩散炉温度稳定后，向扩散石英管内通入氧气、携带硼源的小氮和气态水；所述的大氮的流量为12-20slm/min；所述的氧气的流量为2000-5000sccm/min；所述的携源小氮的流量800-3000sccm/min；所述的气态水的流量范围为100-900sccm/min；（3）待扩散过程结束后将衬底取出冷却。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扩散 掺杂 方法 | ||
【主权项】：
一种硼（B）扩散掺杂的方法，其特征在于所述的方法步骤如下：（1）腐蚀清洗待掺杂的衬底表面，清洗完成后将衬底干燥；（2）扩散炉升温，同时向扩散石英管内导入大氮；当温度达到850‑1050°C后，将步骤（1）制备好的清洁衬底放入扩散石英管恒温区，密封扩散炉炉口；待扩散炉温度稳定后，继续导入大氮，并向扩散石英管内通入氧气、携带硼源的小氮和气态水；所述的大氮的流量为12‑20slm/min；所述的氧气的流量为2000‑5000sccm/min；所述的携源小氮的流量800‑3000sccm/min；所述的气态水的流量范围为100‑900sccm/min；（3）待扩散过程结束后将衬底取出冷却。
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