[发明专利]化学气相淀积设备以及化学气相淀积方法中清洗履带的方法

摘要

发明涉及化学气相淀积设备和化学气相淀积法中清洗履带的方法。本发明的化学气相淀积设备包括：腔体；将处理气体供给所述腔体的进气装置；将处理后的气体导出所述腔体的排气装置；移动载置被处理圆片的履带；用于对所述履带上的被处理圆片进行加热的加热块；对所述履带表面喷淋气化腐蚀液的喷淋装置；利用超声波对所述履带表面进行清洗的超声波清洗装置；以及对所述履带表面进行烘干的烘干装置。根据本发明，能够有效地清除履带上积累的SiO2，能够解决圆片表面颗粒问题，提高了圆片表面质量，而且还能够提高化学气相淀积设备的使用效率。

主权项

一种化学气相淀积设备，包括：腔体；将处理气体供给所述腔体的进气装置；将处理后的气体导出所述腔体的排气装置；移动载置被处理圆片的履带，其特征在于，还包括：喷淋装置，对所述履带表面喷淋气化腐蚀液；超声波清洗装置，利用超声波对所述履带表面进行清洗；以及烘干装置，对所述履带表面进行烘干。