[发明专利]碱性蚀刻液循环再生设备无效

专利信息
申请号: 201210304522.1 申请日: 2012-08-24
公开(公告)号: CN103628070A 公开(公告)日: 2014-03-12
发明(设计)人: 韦建敏;赵兴文;张小波;吴圣杰 申请(专利权)人: 成都虹华环保科技有限公司
主分类号: C23F1/46 分类号: C23F1/46
代理公司: 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 代理人: 谢敏
地址: 610000 四*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明公开了一种碱性蚀刻液循环再生设备,包括电解槽(1)和与电解槽(1)相连的温控槽(3),电解槽(1)上端设有将电解槽(1)和温控槽(3)连通的两根平行的溢流管(2),电解槽(1)下端设有循环管(8)和出水管(6),循环管(8)一端与电解槽(1)连通,另一端与温控槽(3)下端连通,循环管(8)上还设有循环泵(9),所述温控槽(3)底端还设有母液管(4)。本发明的优点在于:本发明设计的这种碱性蚀刻液循环再生设备,具有效率高,成本低,占地面积少,无任何排放的优点。
搜索关键词: 碱性 蚀刻 循环 再生 设备
【主权项】:
碱性蚀刻液循环再生设备,其特征在于:包括电解槽(1)和与电解槽(1)相连的温控槽(3),电解槽(1)上端设有将电解槽(1)和温控槽(3)连通的两根平行的溢流管(2),电解槽(1)下端设有循环管(8)和出水管(6),循环管(8)一端与电解槽(1)连通,另一端与温控槽(3)下端连通,循环管(8)上还设有循环泵(9),所述温控槽(3)底端还设有母液管(4)。
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