[发明专利]碳膜包覆部件及其制造方法无效
申请号: | 201210305501.1 | 申请日: | 2012-08-24 |
公开(公告)号: | CN102965637A | 公开(公告)日: | 2013-03-13 |
发明(设计)人: | 高桥正训;日向野哲;久保拓矢 | 申请(专利权)人: | 三菱综合材料株式会社 |
主分类号: | C23C16/02 | 分类号: | C23C16/02;C23C16/27;B23K26/00 |
代理公司: | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人: | 康泉;王珍仙 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种在基材上以较高的粘附性形成碳膜的碳膜包覆部件及其制造方法。本发明的碳膜包覆部件(1),在硬质合金的基材(2)表面排列形成直径为50μm以下的多个微细孔(3),并在基材(2)表面填满微细孔(3)并形成碳膜(4)。并且,该碳膜包覆部件的制造方法具有:孔形成工序,在硬质合金的基材(2)表面排列形成直径为50μm以下的多个微细孔(3);及碳膜形成工序,在该孔形成工序后,在基材(2)表面填满微细孔(3)并形成碳膜(4)。 | ||
搜索关键词: | 碳膜包覆 部件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种碳膜包覆部件,其特征在于,在硬质合金的基材表面排列形成直径为50μm以下的多个微细孔,在所述基材表面填满所述微细孔并形成碳膜。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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