[发明专利]光刻中的旁瓣图像搜寻方法无效
| 申请号： | 201210305950.6 | 申请日： | 2007-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN102819198A | 公开（公告）日： | 2012-12-12 |
| 发明（设计）人： | 吴宗显 | 申请（专利权）人： | 旺宏电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G06F17/50 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 任默闻 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明是关于一种用于检测全芯片布局中的旁瓣的方法，全芯片布局具有设计于光罩上的主要图案。此方法包括以多边形、圆形或环形来围绕主要图案。执行光刻规则检验且使用多边形、圆形或环形来找出旁瓣的发生区域。较佳以误差旗标来标记旁瓣的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 中的 图像 搜寻 方法 | ||
【主权项】：
一种用于检测全芯片布局中的旁瓣的方法，其特征在于，所述的方法包含：（a）提供复数主要图案，其中所述主要图案形成于一光罩上；（b）以多边形图案来围绕所述主要图案；以及（c）执行光刻规则检验，所述光刻规则检验包括在三个或四个所述多边形图案的交叉点来搜寻旁瓣。
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