[发明专利]一种用于激光诱导检测的光学系统有效
申请号: | 201210308764.8 | 申请日: | 2012-08-28 |
公开(公告)号: | CN102866134A | 公开(公告)日: | 2013-01-09 |
发明(设计)人: | 赵天卓;余锦;樊仲维;刘洋;张雪;黄科;麻云凤 | 申请(专利权)人: | 中国科学院光电研究院;北京国科世纪激光技术有限公司 |
主分类号: | G01N21/63 | 分类号: | G01N21/63;G02B7/04 |
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地址: | 100094 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及一种新型激光诱导检测装置的激光导入光学系统,特别是涉及一种将激光汇聚在被检测物质的表面,通过激光所激发等离子体光谱得到被检测材料成分,或通过激光在材料内部及表面所激励的超声进行分析得到材料内部缺陷的激光导入光学系统,属于激光诱导检测领域。本发明涉及的系统包括:外套筒、分光棱镜、分光遮挡板、光束选择挡板、聚光套筒,还可以将聚光套筒替换成反射镜组,或者增加电动控制器,或者增加聚焦透镜。本发明通过将激光分束,并控制单束激光能量在诱导激励的阈值之下,而多束合并时又处于激励阈值之上的方法来实现诱导的调节控制,并能够同时避免激光聚焦在被检测材料的上,或者导致气体击穿的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 激光 诱导 检测 光学系统 | ||
【主权项】:
一种用于激光诱导检测的光学系统,包括:外套筒1、分光棱镜2、分光遮挡板3、光束选择挡板4、聚光套筒5,还可以将聚光套筒5替换成反射镜组6,或者增加电动控制器7,或者增加聚焦透镜组8。
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