[发明专利]物理量检测器及电子设备

摘要

本发明提供一种能够提高检测精度、检测灵敏度等的物理量检测特性的物理量检测器。其中，加速度检测器（1）具有：板状的挠性部（基座部（10）、接合部（11）、可动部（12）），其具有压电性，并能够通过惯性力而弯曲；加速度检测元件（13），其被搭载于基座部（10）及可动部（12）的主面（10a、12a）上；质量部（15），其被搭载于可动部（12）上，并具有导电性；封装件（20），其用于收纳基座部（10）、接合部（11）、可动部（12）、加速度检测元件（13）和质量部（15），在加速度检测元件（13）上，设置有将检测到的加速度作为电信号来获取的配线（13f、13g），并且质量部（15）被保持为所需的电位。

主权项

一种物理量检测器，其特征在于，具备：挠性部，其具有压电性，且为板状；物理量检测元件，其被搭载于所述挠性部的两个主面中的至少一个所述主面上；质量部，其被搭载于所述挠性部上，并具有导电性；封装件，其用于收纳所述挠性部、所述物理量检测元件和所述质量部，在所述物理量检测元件上，设置有将检测到的物理量作为电信号来获取的配线，并且所述质量部能够保持为所需的电位。