[发明专利]激光光束匀化装置无效
| 申请号： | 201210309070.6 | 申请日： | 2012-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN102819113A | 公开（公告）日： | 2012-12-12 |
| 发明（设计）人： | 曾华林;何军;李丽艳;范松涛;佟有万;雷平顺;周燕 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G02B27/09 | 分类号： | G02B27/09 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种激光光束匀化装置，包括：一激光器；一微透镜阵列，该微透镜阵列由多个微透镜组成，该微透镜阵列位于激光器的发光光路上；一发射透镜，该发射透镜位于微透镜阵列之后并位于激光器和微透镜阵列的发光光路上。本发明可以均匀发射激光光束，与现有的技术相比，其在光斑均匀方面的有明显提高，激光能量衰减低，并且实现难度小。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 光束 化装 | ||
【主权项】：
一种激光光束匀化装置，包括：一激光器；一微透镜阵列，该微透镜阵列由多个微透镜组成，该微透镜阵列位于激光器的发光光路上；一发射透镜，该发射透镜位于微透镜阵列之后并位于激光器和微透镜阵列的发光光路上。
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