[发明专利]丝杠检测装置及采用该丝杠检测装置的检测方法无效
申请号: | 201210312469.X | 申请日: | 2012-08-29 |
公开(公告)号: | CN103017661A | 公开(公告)日: | 2013-04-03 |
发明(设计)人: | 唐卫国;姚雪峰;齐向东;巴音贺希格;冯树龙 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02 |
代理公司: | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人: | 张伟 |
地址: | 130033 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 本发明涉及一种丝杠检测装置,用以检测丝杠的误差值,该丝杠检测装置包括检测螺母、光学测量镜、双频激光干涉仪,所述双频激光干涉仪面向丝杠的一外端部设置,所述检测螺母套设于丝杠的外周上,当该丝杠作周向旋转运动时,该检测螺母沿丝杠的轴向作直线运动,所述光学测量镜固定安装在检测螺母上,随检测螺母一起移动该丝杠检测装置还包括光学参考镜及角镜,所述光学参考镜固定安装于丝杠的外端部上,随丝杠一起作周向旋转运动,所述角镜靠近双频激光干涉仪设置,用以将其发出的激光束反射至光学测量镜。本发明的丝杠检测装置操作简易、准确度高。本发明还包括一种采用上述丝杠检测装置的检测方法,该检测方法得到的丝杠误差测量结果可靠性高。 | ||
搜索关键词: | 检测 装置 采用 方法 | ||
【主权项】:
一种丝杠检测装置,用以检测丝杠的误差值,该丝杠检测装置包括:浮动端支座、编码器、二V形轴承、检测螺母、光学测量镜、双频激光干涉仪及固定端安装座;所述丝杠承载于二V形轴承上,并夹置于浮动端支座与固定端安装座之间;所述检测螺母套设于丝杠的外周上,当该丝杠作周向旋转运动时,所述检测螺母沿丝杠的轴向作直线运动;所述光学测量镜固定安装在检测螺母上,随检测螺母一起移动;所述双频激光干涉仪面向所述丝杠的一外端部设置;其特征在于:该丝杠检测装置还包括:光学参考镜及角镜;所述光学参考镜固定安装于丝杠的外端部上,随丝杠一起作周向旋转运动;所述角镜靠近双频激光干涉仪设置,用以将该双频激光干涉仪发出的激光束反射至光学测量镜。
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