[发明专利]光刻投影物镜中光学元件X-Y微动调整装置无效
| 申请号： | 201210312612.5 | 申请日： | 2012-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN102854758A | 公开（公告）日： | 2013-01-02 |
| 发明（设计）人： | 赵磊;巩岩;于新峰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B7/02 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 南小平 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 光刻投影物镜中光学元件X-Y微动调整装置，属于深紫外投影光刻物镜结构设计与像差补偿领域，为解决光刻投影物镜中光学元件X-Y高精度调整问题，该装置包括镜框、两个驱动器和两个电容传感器，所述两个驱动器和两个电容传感器分别固定在镜框上，驱动器安装在镜框外环外侧，驱动器的输入位移作用在第一折叠弹片和第二折叠弹片上， 输入位移方向分别垂直于第一折叠弹片外侧弹片和第二折叠弹片外侧弹片，两个电容传感器均为单电极电容传感器，均固定在镜框外环的内侧，并且两个电容传感器间的周向间隔为90º，实现了对光学元件X-Y微动调整。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 投影 物镜 光学 元件 微动 调整 装置 | ||
【主权项】：
光刻投影物镜中X‑Y微动调整装置，包括镜框（2）、两个驱动器（3）和两个电容传感器（4），其特征在于，所述两个驱动器（3）和两个电容传感器（4）分别固定在镜框（2）上。
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