[发明专利]基片装卸装置、等离子体设备和机械手坐标零点定位方法

摘要

发明提出了一种用于等离子体设备的基片装卸装置，包括：机械手，机械手具有用于吸附基片的吸附装置；定位传感器，定位传感器设在吸附装置上，用于对等离子体设备的载板进行零点定位；和控制器，控制器与机械手和定位传感器相连，用于利用定位传感器在载板上方进行水平和竖直方向上移动时接收到的反馈信号，计算载板上任意点的坐标，实现载板上的零点定位，并基于机械手坐标零点控制机械手的运动。根据本发明实施例的基片装卸装置，保证了吸附装置的吸附效果且简化了吸附装置的结构，同时可更有效更灵活的对机械手坐标零点进行定位。本发明还提出了一种具有上述基片装卸装置的等离子体设备和等离子体设备的机械手坐标零点的定位方法。

主权项

一种用于等离子体设备的基片装卸装置，其特征在于，包括：机械手，所述机械手具有用于吸附基片的吸附装置；定位传感器，所述定位传感器设在所述吸附装置上，用于对所述等离子体设备的载板进行零点定位；和控制器，所述控制器与所述机械手和所述定位传感器相连，用于利用位于吸附装置上的定位传感器在载板上方进行水平和竖直方向上移动时接收到的反馈信号，计算载板上任意点的坐标，实现载板上的零点定位，并基于所述机械手坐标零点控制所述机械手的运动。