[发明专利]大规模、大功率集成电路金属封装外壳的加工方法有效
申请号: | 201210317980.9 | 申请日: | 2012-08-31 |
公开(公告)号: | CN102832140A | 公开(公告)日: | 2012-12-19 |
发明(设计)人: | 杨俊钊;刘燕;刘彬;蒙高安;江洪涛;张斌 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第四十研究所 |
主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48 |
代理公司: | 蚌埠鼎力专利商标事务所有限公司 34102 | 代理人: | 王琪;牛涛 |
地址: | 233010 *** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明涉及一种大规模、大功率集成电路金属封装外壳的加工方法。所述外壳包括底座、外罩,底座由底板、若干玻璃坯、若干引线脚组成,底板上设有若干用来安置引线脚及玻璃坯的第一通孔,引线脚通过玻璃坯置于底板上的第一通孔中。当底座、外罩加工好后,在底座上安装好需要的集成电路、模块等元器件,将外罩与底座焊接。集成电路、模块等固定在金属外壳的底座上,并通过引线的引出端与外部被检测设备连接,完成系统信号的输出、输入、检测控制作用。外罩与底座焊接在一起,集成电路、模块被密闭在金属外壳内,既起到输出信号、检测控制作用,又保护内部电路不受外界各种恶劣环境的影响。 | ||
搜索关键词: | 大规模 大功率 集成电路 金属 封装 外壳 加工 方法 | ||
【主权项】:
大规模、大功率集成电路金属封装外壳的加工方法,所述外壳包括底座、外罩,底座由底板、若干玻璃坯、若干引线脚组成,底板上设有若干用来安置引线脚及玻璃坯的第一通孔,引线脚通过玻璃坯置于底板上的第一通孔中;所述底座的加工方法包括以下工艺步骤:(1)、利用机加工将金属板加工成有若干用来安置引线脚及玻璃坯的第一通孔的底板,然后对其表面进行喷砂,再进行退火、氧化;(2)、将切割好的若干引线脚的切割断面磨削,然后进行退火、氧化;(3)、利用模具制出若干带有第二通孔的玻璃生坯,进行排蜡、玻璃化后,得到玻璃坯;(4)、利用石墨舟将步骤(2)切割、处理好的引线脚置于步骤(3)制得的玻璃坯的第二通孔中,然后再将玻璃坯置于步骤(1)制得的底板上的第一通孔中定位;(5)、将步骤(4)石墨舟中安置好的引线脚、玻璃坯、底板烧结成型,制得底座;(6)、将步骤(5)制得的底座进行酸洗、电镀;所述外罩的加工方法为在冲床上将金属板引伸成型,然后切割端面到要求的高度尺寸,再磨平端面,然后进行高温退火,再经电镀即可。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造