[发明专利]用于光刻曝光中的光强调节装置及光强调节方法有效
| 申请号： | 201210319549.8 | 申请日： | 2012-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN103676483A | 公开（公告）日： | 2014-03-26 |
| 发明（设计）人： | 罗闻;孙智超 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B26/08 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于光刻曝光中的光强调节装置，包括：汞灯光源，位于灯室内，用于提供该光刻装置的光源；可动反射镜组，位于灯室出光口处，包括至少一个可动镜片，用于汇聚所述光源的散射光束；能量传感器，用于测量所述基底表面的光功率；控制器，用于信号检测、运算以及发送命令；所述控制器与所述汞灯光源、所述可动反射镜组以及所述能量传感器连接，所述汞灯光源发出的散射光束经所述可动反射镜组后进入所述后继光路。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 光刻 曝光 中的 调节 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种用于光刻曝光中的光强调节装置，其特征在于，包括：汞灯光源，位于灯室内，用于提供所述光刻装置的光源；可动反射镜组，位于灯室出光口处，包括至少一个可动镜片，用于汇聚所述光源的散射光束；能量传感器，用于测量所述基底表面的光功率；控制器，用于信号检测、运算以及发送命令；所述控制器与所述汞灯光源、所述可动反射镜组以及所述能量传感器连接，所述汞灯光源发出的散射光束经所述可动反射镜组后进入所述后继光路。
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