[发明专利]一种金刚线切割硅片的清洗方法有效
| 申请号： | 201210320133.8 | 申请日： | 2012-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN103658096A | 公开（公告）日： | 2014-03-26 |
| 发明（设计）人： | 崔三观;蔡龙;袁刚;刘学;杨长剑 | 申请（专利权）人： | 浙江昱辉阳光能源有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/12;B08B3/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王宝筠 |
| 地址： | 314117 浙江省嘉*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种金刚线切割硅片的清洗方法，包括：对切割好的硅片进行预清洗；采用活化清洗剂对预清洗后的硅片进行活化清洗；其中，所述活化清洗剂为纯水、氢氧化钠以及双氧水构成的混合试剂。所述方法通过具有强氧化性的双氧水能够有效去除硅片表面残留的有机物、细菌、还原性金属离子等杂质；且通过控制所述活化清洗剂中氢氧化钠的浓度可使得所述活化清洗剂只与表面存在较大缺陷损伤处反应，去除硅片表面的损伤处，在硅片后续制绒过程中，硅片表面与制绒试剂的接触情况相同，即硅片表面各处与制绒试剂的反应速度相同，从而使得制绒后硅片具有较好的绒面。因此，本申请所述方法能够有效提高硅片表面的洁净度，硅片制绒后绒面的均匀性较好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金刚 切割 硅片 清洗 方法 | ||
【主权项】：
一种金刚线切割硅片的清洗方法，其特征在于，包括：对切割好的硅片进行预清洗；采用活化清洗剂对预清洗后的硅片进行活化清洗；其中，所述活化清洗剂为双氧水、氢氧化钠以及纯水构成的混合试剂。
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