[发明专利]一种晶体预热装置有效
| 申请号： | 201210322393.9 | 申请日： | 2012-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN102864490A | 公开（公告）日： | 2013-01-09 |
| 发明（设计）人： | 袁静;张继宏;李岩 | 申请（专利权）人： | 北京京运通科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B13/00 | 分类号： | C30B13/00 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100176 北京市大兴*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶体预热装置，涉及半导体材料加工领域，解决了现有预热装置操作不便、运动速度不够快、易出现重大损失的问题。晶体预热装置，用于对区熔炉内的晶体进行预加热，包括加热单元和驱动装置，加热单元与驱动装置的连接杆固定连接，驱动装置固定在区熔炉的炉膛法兰外侧，且连接杆穿过炉膛法兰，驱动装置通过连接杆驱动加热单元。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶体 预热 装置 | ||
【主权项】：
一种晶体预热装置，用于对区熔炉内的晶体进行预加热，包括加热单元，其特征在于，还包括驱动装置，所述加热单元与所述驱动装置的连接杆固定连接；所述驱动装置固定在所述区熔炉的炉膛法兰外侧，且所述连接杆穿过所述炉膛法兰；所述驱动装置通过所述连接杆驱动所述加热单元。
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