[发明专利]含镓的金属氧化物层的蚀刻溶液组合物无效
| 申请号： | 201210322644.3 | 申请日： | 2012-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN102977889A | 公开（公告）日： | 2013-03-20 |
| 发明（设计）人： | 张尚勋;权五柄;沈庆辅;李智娟;刘仁浩 | 申请（专利权）人： | 东友精细化工有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/04 | 分类号： | C09K13/04;H01L21/306 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 李中奎 |
| 地址： | 韩国全罗*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了一种含镓的金属氧化物层的蚀刻溶液组合物。所述组合物包括：重量百分比为5%~20%的过硫酸盐、重量百分比为1%~15%的无机酸或无机酸的盐以及形成所述组合物的余量的水，以高的蚀刻速度均匀地进行金属氧化物层的湿蚀刻，该金属氧化物层包含氧化铟、氧化锌或其混合物以及镓或氧化镓，从而简化蚀刻过程且提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 氧化物 蚀刻 溶液 组合 | ||
【主权项】：
一种用于含镓的金属氧化物层的蚀刻溶液组合物，所述蚀刻溶液组合物包括：重量百分比为5%~20%的过硫酸盐、重量百分比为1%~15%的无机酸或无机酸的盐以及形成所述组合物的余量的水。
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