[发明专利]一种防爆油扩散泵真空系统及其防爆控制方法有效
| 申请号： | 201210324787.8 | 申请日： | 2012-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN102829004A | 公开（公告）日： | 2012-12-19 |
| 发明（设计）人： | 令晓明;范多旺;夏荣斌;范多进;李德文;杨树本 | 申请（专利权）人： | 常州大成绿色镀膜科技有限公司;兰州交大国家绿色镀膜工程中心有限责任公司;兰州大成科技股份有限公司 |
| 主分类号： | F04F9/08 | 分类号： | F04F9/08 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 213000 江苏省常州市新北区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种防爆油扩散泵真空系统及其防爆控制方法，包括油扩散泵系统，油扩散泵系统具有油扩散泵，油扩散泵的抽气口与真空室的出气口通过管路连通，还包括控制系统，控制系统包括设置在油扩散泵的前级排气口管路上的压力检测装置、设置在油扩散泵内的实时检测油温的测温装置和测量真空室内压力的测压装置，控制系统设有临界压力Pq和防爆压力Pfb，控制系统通过采集压力检测装置、测温装置和测压装置测得的实时数据控制油扩散泵系统中各泵组和阀组的启闭。本发明通过控制系统实时监控油扩散泵的油温、前级压力和真空室压力，并与设定的临界压力和防爆压力进行比较，若检测到危险做出相应的处理，避免油扩散泵发生爆炸。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 防爆 扩散 真空 系统 及其 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种防爆油扩散泵真空系统，对真空室进行抽真空，包括油扩散泵系统，油扩散泵系统具有油扩散泵，油扩散泵的抽气口与真空室的出气口通过管路连通，其特征是：还包括控制系统，所述的控制系统包括设置在油扩散泵的前级排气口管路上的压力检测装置、设置在油扩散泵内的实时检测油温的测温装置和测量真空室内压力的测压装置，所述的控制系统设有临界压力Pq和防爆压力Pfb，所述的控制系统通过采集压力检测装置、测温装置和测压装置测得的实时数据控制油扩散泵系统中各泵组和阀组的启闭。
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