[发明专利]改进氧化锌单晶质量的处理方法无效
| 申请号： | 201210327762.3 | 申请日： | 2012-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN102912447A | 公开（公告）日： | 2013-02-06 |
| 发明（设计）人： | 陈光珠;杭寅;陈喆;张连翰;何明珠;王军;宁凯杰;张沛雄;王向水 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02;C30B29/16;H01L21/324 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种改进氧化锌单晶质量的处理方法，该方法主要由切割、退火、抛光、清洗等几个主要步骤组成。本发明可以得到结构完整、单相性好的氧化锌衬底基片，可以满足ZnO同质外延薄膜的生长需要。 | ||
| 搜索关键词： | 改进 氧化锌 质量 处理 方法 | ||
【主权项】：
一种改进氧化锌单晶质量的处理方法，其特征在于该方法包括下列步骤：①将氧化锌晶体切割成所需大小的片状，细磨处理，使表面无刀痕，称为氧化锌研磨片；②在铂金坩锅底部垫纯度为99.9％～99.999％的ZnO粉末，粉末颗粒度为20~80μm，将所述的氧化锌研磨片平放在所述的ZnO粉末上；该铂金坩锅用烧结的氧化锌陶瓷板盖严，该氧化锌陶瓷板的纯度为99.9％～99.999％，厚度5～10mm；然后将所述的铂金坩锅放置在箱式马弗炉中进行退火；③退火过程：以5～10℃/min的速率升温至1100～1300℃，恒温180～300min，然后以5～10℃/min的速率降温至200～300℃，再关闭电源自然冷却到室温，取出后称为退火氧化锌研磨片；④对所述的退火氧化锌研磨片进行机械抛光，要求没有划痕,粗糙度<10nm，化学抛光，要求粗糙度≤0.5nm、平整度≤5μm，并清洗干净，洁净度达到百级，获得氧化锌单晶片最后用超净袋封装。
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