[发明专利]一种SOI基巨压阻效应微陀螺

摘要

本发明公开了一种SOI基巨压阻效应微陀螺，主要结构包括：键合基板和微陀螺角速率敏感体。键合基板上表面中间位置刻蚀有矩形底槽；微陀螺角速率敏感体设在键合基板上表面并与键合基板相连接。微陀螺角速率敏感体进一步包括：键合基板左、右侧上表面分布的固定梳齿电极正极；前、后侧上表面分布的梳齿电极负极；固定梳齿电极正极上表面设置的固定梳齿结构；梳齿电极负极上表面设置的固定座；对应设在底槽上方的敏感质量块，敏感质量块上表面均匀分布有阻尼孔；敏感质量块通过组合梁与固定座相连接；组合梁的检测梁根部设有硅纳米线电阻作为敏感机构。根据本发明实施例的微机械陀螺采用整体结构设计，结构合理、紧凑，检测电路简单，使用方便、可靠性好、适合微型化。

主权项

一种微机械陀螺，其特征在于，包括：键合基板，所述的键合基板上表面设有矩形凹槽即底槽；微陀螺角速率敏感体，所述的微陀螺角速率敏感体设在键合基板上方，并与键合基板粘结牢固，且微陀螺角速率敏感体包括：键合基板左、右侧上表面分布的固定梳齿电极正极；前、后侧上表面分布的梳齿电极负极；固定梳齿电极正极上表面设置的固定梳齿结构；梳齿电极负极上表面设置的固定座；对应设在底槽上方的敏感质量块，敏感质量块上均匀分布有通孔阻尼孔；敏感质量块通过组合梁与固定座相连接；组合梁的检测梁根部设有硅纳米线电阻作为敏感机构。