[发明专利]一种提升电子可编程熔丝器件熔断性能的方法无效
| 申请号： | 201210333902.8 | 申请日： | 2012-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN102832196A | 公开（公告）日： | 2012-12-19 |
| 发明（设计）人： | 俞柳江 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/525 | 分类号： | H01L23/525 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 竺路玲 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种提升电子可编程熔丝器件熔断性能的方法，包括两个电极和连接在两个电极之间的电子可编程熔丝，所述电极和电子可编程熔丝均位于一基板上，其中，在所述电子可编程熔丝两侧添加空置栅极，所述空置栅极用于使所述电子可编程熔丝具有不同的特征尺寸，进而提升所述电子可编程熔丝的熔断性能；本发明的有益效果是：通过增加附加的空置多晶硅栅，在多晶硅熔丝中形成不同的特征尺寸，从而导致多晶硅熔丝中出现电流密度梯度，增强了电子可编程熔丝的电迁移现象，最终增强电子可编程熔丝器件的熔断性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提升 电子 可编程 器件 熔断 性能 方法 | ||
【主权项】：
一种提升电子可编程熔丝器件熔断性能的方法，包括两个电极和连接在两个电极之间的电子可编程熔丝，所述电极和电子可编程熔丝均位于一基板上，其特征在于，在所述电子可编程熔丝两侧添加空置栅极，所述空置栅极用于改变所述电子可编程熔丝的特征尺寸。
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