[发明专利]一种双大马士革结构的制备方法有效
| 申请号： | 201210337282.5 | 申请日： | 2012-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN103681463A | 公开（公告）日： | 2014-03-26 |
| 发明（设计）人： | 王新鹏;胡敏达;周俊卿 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/768 | 分类号： | H01L21/768 |
| 代理公司： | 北京市磐华律师事务所 11336 | 代理人： | 董巍;高伟 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种双大马士革结构的制备方法，包括提供半导体衬底；在所述衬底上依次形成蚀刻停止层，介电层、硬掩膜叠层、金属硬掩膜层；蚀刻所述金属硬掩膜层、所述硬掩膜叠层形成锥形开口；在所述金属掩膜层上形成图案化的通孔掩膜层；蚀刻所述介电层，形成多个沟槽和通孔；采用金属材料填充所述多个沟槽和通孔，执行化学机械平坦化步骤。本发明中为了在填充通孔时获得更好的效果，首先在金属硬掩膜以及氧化物硬掩膜层、低K材料硬掩膜层上形成锥形的开口，以获得顶部较大的开口，利用所述锥形开口填充通孔，能获得更好的填充效果，克服了现有技术中容易出现空洞和空隙的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 大马士革 结构 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种双大马士革结构的制备方法，包括：提供半导体衬底；在所述衬底上依次形成蚀刻停止层，介电层、硬掩膜叠层、金属硬掩膜层；蚀刻所述金属硬掩膜层、所述硬掩膜叠层形成锥形开口；在所述金属掩膜层上形成图案化的通孔掩膜层；蚀刻所述介电层，形成多个沟槽和通孔；采用金属材料填充所述多个沟槽和通孔，执行化学机械平坦化步骤。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
