[发明专利]一种电极与振动圆盘间隙可调的微机械谐振器

摘要

该发明属于射频通信及微机电系统（MEMS）技术领域中的电极与振动圆盘间隙可调的微机械谐振器。包括基片、设于基片上的振动圆盘，位于振动圆盘两则的环片式交流输入、输出电极及其接头，带定位头的静电电极及位于两端面上的绝缘片，含电极杆、电极臂和弹性导向臂在内的输入、输出电极移动定位组件；该发明由于在基片上增设了带定位头的静电电极及输入、输出电极移动定位组件，从而可将输入、输出电极与振动圆盘之间工作时的间隙（即带电间隙）控制在10nm左右并不会形成楔子形间歇。因而本发明具有谐振器加工工艺的难度低，可有效减小输入、输出电极与振动圆盘之间的间隙和圆盘谐振器工作时的动态电阻，谐振器Q值高，谐振器性能好等特点。

主权项

一种电极与振动圆盘间隙可调的微机械谐振器,包括基片、设于基片上的振动圆盘，位于振动圆盘两则的环片式交流输入电极和交流输出电极及其交流输入接头、交流输出接头，其特征在于在基片上还设有一两端带定位头的静电电极、在两定位头的端面均设有绝缘片，而在交流输入电极与交流输入接头之间、交流输出与交流输出接头之间均分别设有包含电极杆、电极臂和弹性导向臂在内的电极移动定位组件；两端带定位头的静电电极固定于基片上、各绝缘片则平整地固定于定位头的表面，电极移动定位组件通过两电极杆分别与对应的交流输入电极及交流输出电极后端紧固连接、而通过两电极臂的一端分别与对应的交流输入电接头及交流输出电接头连接，电极杆的外端则分别与相应电极臂的中部固定连接，两电极臂的另一端则分别悬置于正对静电电极定位头端面的外侧、并与定位头端面上的绝缘片间隔一设定的距离，两弹性导向臂的对称中心分别与相应的电极杆中部固定连接、而两端则分别与对应的支承柱及交流输入电接头、交流输出电接头连接。