[发明专利]一种拉曼光谱测试探针及其制作方法无效
| 申请号： | 201210338058.8 | 申请日： | 2012-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN103674924A | 公开（公告）日： | 2014-03-26 |
| 发明（设计）人： | 吴砺;凌吉武;赵振宇;林磊;卢秀爱;张杨;张新汉 | 申请（专利权）人： | 福州高意光学有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/65 | 分类号： | G01N21/65 |
| 代理公司： | 福建炼海律师事务所 35215 | 代理人： | 许育辉 |
| 地址： | 350001 福建省福州*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明涉及光学检测领域，公开了一种拉曼光谱测试探针，包括基片和阵列纳米金属立柱，所述基片测试表面为抛光面，阵列纳米金属立柱设于该抛光面上；所述阵列纳米金属立柱各立柱顶端为具有锥度的针尖结构。还公开了制作该拉曼光谱测试探针的方法，包括抛光、镀膜、掩膜、刻蚀、腐蚀和去除掩膜等工艺工序，制作成本低。本发明基于TERS技术的拉曼光谱测试探针结构简单，相对于单个针尖的探针，其探测面积更大，与激光耦合更方面快捷；采用光刻掩膜及金属腐蚀工艺制作上述拉曼光谱测试探针，制作成本低，具针尖结构的阵列纳米金属立柱的形状易于控制，且分布规律。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光谱 测试 探针 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种拉曼光谱测试探针，包括基片和阵列纳米金属立柱，其特征在于：所述基片测试表面为抛光面，阵列纳米金属立柱设于该抛光面上；所述阵列纳米金属立柱各立柱顶端为具有锥度的针尖结构。
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