[发明专利]一种超低氧铬片的制备方法有效
申请号: | 201210339931.5 | 申请日: | 2012-09-14 |
公开(公告)号: | CN102808092A | 公开(公告)日: | 2012-12-05 |
发明(设计)人: | 钟小亮;王广欣;王树森 | 申请(专利权)人: | 苏州晶纯新材料有限公司 |
主分类号: | C22B34/32 | 分类号: | C22B34/32;C22B5/12 |
代理公司: | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人: | 汪青 |
地址: | 215600 江苏省苏州市张*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及超低氧铬片的制备方法,其包括(1)将电解铬片加入到坩埚中,关闭炉门,将炉内环境真空度抽至5.0×10-3Pa或以下,充入1atm纯度大于99.9%的氢气,再将炉内环境真空度抽至5.0×10-3Pa或以下;(2)将炉内环境温度升至500℃~900℃,持续保持环境真空度为5.0×10-3Pa或以下,保温1~2小时;(3)充入氢气,使炉内环境氢气气压为1~50Pa,再将炉内环境温度升至1000℃~1500℃,保温1~10小时,降至室温,即得超低氧铬片,其中持续通入氢气以保持炉内环境气压为1~50Pa。本发明可得氧含量低于500ppm的超低氧铬片,是溅射靶材及特种合金的理想的铬片原料。 | ||
搜索关键词: | 一种 低氧 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种超低氧铬片的制备方法,其特征在于:所述制备方法以纯度大于等于99.95%的电解铬片为原料,通过氢气还原法制备得到所述超低氧铬片,所述制备方法包括依次进行的下列步骤:(1)、将所述电解铬片加入到还原炉内的氧化铝坩埚中,至电解铬片上表面距离坩埚上边沿10~20mm,停止加料,关闭炉门,将炉内环境真空度抽至5.0×10‑3Pa或以下,充入1atm纯度大于99.9%的氢气,再将炉内环境真空度抽至5.0×10‑3Pa或以下;(2)、按100~300℃/h的升温速率将炉内环境温度升至500℃~900℃,持续保持环境真空度为5.0×10‑3Pa或以下,在500~900℃下保温1~2小时;(3)、充入纯度大于99.9%的氢气,使炉内环境氢气气压为1~50Pa,再按50~200℃/h的升温速率将炉内环境温度升至1000℃~1500℃,升温结束后,保温1~10小时,然后以100~400℃/h的降温速率降温至室温,即得氧含量低于500ppm的超低氧铬片,其中在所述升温、保温和降温的过程中,均持续通入氢气,以保持炉内环境气压为1~50Pa。
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